機器人故障可分為機器人本體故障、控制系統故障、執行系統故障、驅動系統故障。本體故障主要有減速機故障、剛度失效、件變形等；控制系統故障主要有模塊故障、接口故障等；執行系統故障主要有執行器故障、電源故障等；驅動系統故障主要有伺服電機故障、抱閘故障等。

機器人失效分析流程包含故障模式信息調查、故障模式確認、故障定位、失效分析（非破壞性和破壞性）、失效機理確認、提出改善建議、提煉設計規則等。首先，與客戶溝通，搜集機器人失效信息；然后確認機器人的故障現象和失效率等；明確故障后，通過定位手段定位機器人部件失效點；通過多種分析手段對失效點進行失效分析，確認失效模式，找到機器人失效根因；根據失效機理或原因，提出改進建議并跟蹤效果；后撰寫機器人失效分析報告。